คาร์บอน tetrafluoride CF4 เป็นแหล่งของฟลูออรีนและฟลูออไรด์คาร์บอนอนุมูลอิสระที่ใช้ในกระบวนการแกะสลักเวเฟอร์ต่างๆ คาร์บอน tetrafluoride CF4 รวมกับออกซิเจนถึง etch polysilicon, ซิลิคอนไดออกไซด์และซิลิกอนไนไตรด์ คาร์บอน tetrafluoride ค่อนข้างเฉื่อยภายใต้สภาวะปกติและอาจทำให้เกิดการหายใจไม่ออกในพื้นที่ที่ไม่ได้รับการตรวจ ในสภาพแวดล้อมในพลาสมาความถี่วิทยุอนุมูลอิสระฟลูออรีนปรากฏขึ้นในรูปแบบของคาร์บอน trifluoride หรือคาร์บอน difluoride คาร์บอน tetrafluoride ที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถควบคุมกระบวนการประมวลผลได้อย่างดีเพื่อให้ขนาดและรูปร่างสามารถควบคุมได้ดีขึ้น สิ่งนี้แตกต่างจาก halocarbons อื่น ๆ ที่ไม่เอื้อต่อการควบคุมพิเศษต่างๆ (เช่นการควบคุม anisotropy เซมิคอนดักเตอร์) เมื่อพวกเขาพบอากาศหรือออกซิเจน ก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและส่วนผสมของก๊าซคาร์บอน tetrafluoride ที่มีความบริสุทธิ์สูงและออกซิเจนไอออนบวกที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถใช้กันอย่างแพร่หลายในการแกะสลักเทียนของซิลิกอนซิลิคอนไดออกไซด์ซิลิกอนไนไตรด์แก้วซิลิกอนฟอสฟอรัส
คาร์บอน tetrafluoride CF4 มีผลยาชาที่ระดับความเข้มข้นสูง ก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและส่วนผสมที่มีออกซิเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นก๊าซการแกะสลักพลาสมาที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ พวกเขายังสามารถใช้เป็นสารทำความเย็นที่อุณหภูมิต่ำและสื่อฉนวนอุณหภูมิต่ำ มันมีความเสถียรทางเคมีและความร้อนที่ดีนั้นเฉื่อยสำหรับรีเอเจนต์จำนวนมากและไม่ได้ไฮโดรไลซ์ที่ 1,000 องศา มันไม่ได้ทำปฏิกิริยากับทองแดงนิกเกิลและทังสเตนที่อุณหภูมิห้อง เนื่องจากความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่งอย่างมากของพันธะ CF perfluorocarbons ที่แสดงโดย CF4 ถือได้ว่าเป็นโดยทั่วไปจะไม่เป็นพิษ
Tetrafluoromethane (CF4) มีความเสถียรสูงและเป็นก๊าซที่ไม่ติดไฟอย่างสมบูรณ์ มันไม่ได้ทำปฏิกิริยากับกรดอัลคาลิสและอนุมูลอิสระที่อุณหภูมิห้องไม่ทำปฏิกิริยากับโลหะทรานซิชันเช่น Cu, Ni, W และ MO ต่ำกว่า 900 องศาและไม่ทำปฏิกิริยากับคาร์บอนไฮโดรเจนและ CH4 ต่ำกว่า 1,000 องศา มันสามารถทำปฏิกิริยากับรีเอเจนต์โลหะแอมโมเนียโซเดียมเหลวที่อุณหภูมิห้องและ CF4 สามารถทำปฏิกิริยากับโลหะอัลคาไลโลหะดินอัลคาไลน์และ SiO2 ที่อุณหภูมิสูงเพื่อสร้างฟลูออไรด์ที่สอดคล้องกัน CF4 เริ่มสลายตัวที่ 800 องศาและสามารถทำปฏิกิริยากับ CO และ CO2 เพื่อสร้าง COF2 ภายใต้การกระทำของอาร์คไฟฟ้า บางคนพยายามที่จะทำพอลิเมอร์ CF4 ที่อุณหภูมิอาร์คคาร์บอนเพื่อสังเคราะห์ฟลูออโรคาร์บอนอื่น ๆ
ป้ายกำกับยอดนิยม: CF4 ผู้ผลิต CF4 จีนซัพพลายเออร์โรงงาน, คาร์บอน tetrafluoride CF4ก๊าซ CF4คาร์บอนเกรดอิเล็กทรอนิกส์ Tetrafluoride CF4 99 999คาร์บอน tetrafluoride ที่มีความบริสุทธิ์สูง
